Ydintoiminnot ja keskeiset sovellukset

Inertti suoja (hapettumisenesto/kosteudenesto): Kemiallisesti stabiili typpi eristää happea ja kosteutta ja estää siten herkkien materiaalien, kuten piikiekkojen, metalliliitosten ja fotoresistien hapettumisen tai kontaminoitumisen. Tyypillisiä skenaarioita ovat: kiekkojen varastointi/kuljetus, fotoresistipinnoitus, CVD/ALD-ohutkalvopinnoitus, nopea lämpöhehkutus (RTA) ja langan liimaus.

Prosessin ohjaus ja kantokaasu: Se toimii kantajakaasuna kuljettamaan esiasteita varmistaen niiden tasaisen toimituksen reaktiokammioon. Se toimii myös laimennus- tai taustakaasuna plasman stabiloimiseksi, reaktionopeuden säätelemiseksi ja ohutkalvon yhtenäisyyden parantamiseksi sekä etsausprofiilin tarkkuuden parantamiseksi. Tyypillisiä skenaarioita ovat: CVD/ALD, plasmaetsaus ja ioni-istutuspuskurointi.

Puhdistus ja puhdistus: Se puhdistaa perusteellisesti jäännösaineet laitteiden kammioista ja putkistosta ristikontaminaation estämiseksi. Lisäksi se ylläpitää positiivista painetta puhdastiloissa ja muodostaa suojaavia ilmaverhoesteitä. Tyypillisiä skenaarioita ovat: kammion vaihto litografia-/etsaustyökaluissa, kaasulinjan vaihto ja puhdastilan ylipaineen ylläpito.

Apu- ja erikoissovellukset: lastujen suojaaminen korkean lämpötilan prosessien aikana; juotteen hapettumisen estäminen ja kostuvuuden parantaminen SMT-reflow- ja aaltojuottamisen aikana; pinnan hapettumisen minimoiminen laserkäsittelyn aikana; ja inertin säilytysympäristön tarjoaminen herkille komponenteille (kuten magneettipäille ja LEDeille) vikojen vähentämiseksi.